ด้วยคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อการขัดถู และเป็นฉนวน ทำให้เซรามิกสามารถทำงานได้ในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายประเภทที่มีสภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนเป็นเวลานาน
ด้วยคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อการขัดถูและเป็นฉนวน เซรามิกจึงสามารถทำงานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายประเภทที่มีสภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
นี่คือเซรามิกชนิดถาด End Effector / Handling Arm ที่ใช้ภายใต้สภาวะสุญญากาศ
Ceramic End Effector / Handling Arm นั้น "ทนความร้อนได้ดีกว่า" "มีการโก่งตัวน้อยกว่า" และ "เบากว่า" ในด้านน้ำหนักเมื่อเทียบกับโลหะ
ในฐานะผู้ผลิตชั้นนำของเซรามิก End Effector / Handling Arm เราได้พัฒนา End Effector / Handling Arm ที่แหวกแนวซึ่งตอบสนองต่อความต้องการของตลาดนั้นแขนเอฟเฟกต์/แขนจับเซรามิกที่ใช้หลักการของ Bernoulli ซึ่งสามารถลอยและขนส่งแผ่นเวเฟอร์ผ่านการไหลของอากาศโดยมีการสัมผัสต่อพ่วงน้อยที่สุด