-
วงแหวนฉนวนอลูมินา PVD สำหรับระบบการเคลือบด้วยไอระเหยทางกายภาพ (Physical Vapor Deposition Systems)
วงแหวนฉนวน PVD ของ St.Cera ผลิตจากอลูมินาบริสุทธิ์สูง 99.8% (Al₂O₃) สำหรับใช้ในระบบการเคลือบด้วยไอระเหยทางกายภาพ (PVD) วงแหวนนี้ทำหน้าที่เป็นฉนวนไฟฟ้าคั่นระหว่างส่วนประกอบต่างๆ ในห้อง ป้องกันการเกิดประกายไฟ และทำให้การทำงานของพลาสมามีเสถียรภาพ คุณสมบัติที่สำคัญ ได้แก่ ความแข็งแรงของฉนวนสูง (15×10⁶ V/m) ความต้านทานจำเพาะ >10¹⁴ Ω·mm²/m และความเสถียรทางความร้อนสูงถึง 1600°C ความสามารถในการกลึงที่แม่นยำของเราทำให้ได้เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอกสูงสุด 600 มม. เส้นผ่านศูนย์กลางภายในต่ำสุด 0.2 มม. ความเรียบ 0.003 มม. และผิวสำเร็จ Ra0.1 ความไม่มีรูพรุนและความเฉื่อยทางเคมีของวงแหวนช่วยให้มั่นใจได้ถึงความน่าเชื่อถือในระยะยาวในสภาพแวดล้อมการสปัตเตอร์ที่รุนแรง
-
ชิ้นส่วนเซรามิกอลูมินาสำหรับระบบระเหยด้วยปืนอิเล็กตรอน
บริษัท St.Cera ผลิตชิ้นส่วนเซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูง 99.8% ที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับระบบการระเหยด้วยลำอิเล็กตรอน (E-gun) ชิ้นส่วนเหล่านี้ได้แก่ ซับในเบ้าหลอม แผ่นเบี่ยงลำแสง ฉนวน และอุปกรณ์ยึด วัสดุนี้มีค่าความแข็งแรงทางไฟฟ้าสูง (15×10⁶ V/m) มีเสถียรภาพทางความร้อนสูงถึง 1600°C และทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลันและการกัดกร่อนทางเคมีจากวัสดุที่ระเหยได้ดีเยี่ยม ความสามารถในการกลึงที่แม่นยำของเราทำให้ได้รูปทรงเรขาคณิตที่ซับซ้อนด้วยขนาดคุณสมบัติขั้นต่ำ 0.2 มม. ความเรียบ 0.003 มม. และความเรียบผิว Ra0.1 ชิ้นส่วนทุกชิ้นได้รับการตรวจสอบความแม่นยำของขนาดด้วยเครื่อง CMM 100%
-
ชิ้นส่วนเซรามิกอลูมินา 99.5% แบบสั่งทำพิเศษจาก ST.CERA
ชิ้นส่วนโครงสร้างเซรามิกเป็นคำทั่วไปที่ใช้เรียกชิ้นส่วนเซรามิกที่มีรูปทรงซับซ้อนหลากหลายรูปแบบ ผลิตจากผงเซรามิกบริสุทธิ์สูง ขึ้นรูปด้วยวิธีการอัดแห้งหรือการอัดเย็นแบบไอโซสแตติก แล้วเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงขึ้นรูปอย่างแม่นยำ มีการใช้งานอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ การสื่อสารทางแสง เลเซอร์ อุปกรณ์ทางการแพทย์ ปิโตรเลียม โลหะวิทยา และอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ เนื่องจากมีคุณสมบัติเด่น เช่น ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อการสึกหรอ และเป็นฉนวน
-
แขนโหลดเซรามิกอลูมินา 99.5% แบบสั่งทำพิเศษจาก ST.CERA
แขนจับ/หัวจับเซรามิกติดตั้งอยู่บนหุ่นยนต์สำหรับจัดการแผ่นเวเฟอร์ หรือ "หัวจับปลายแขน" และใช้ในการลำเลียงแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนเข้าหรือออกจากตลับหรือห้องกระบวนการ
ข้อดีของการใช้เซรามิก ได้แก่ การลดการโก่งงอเนื่องจากมีความแข็งแรงดัดสูง ทนต่ออุณหภูมิสูง และกำจัดสิ่งปนเปื้อนและอนุภาคโลหะ -
ชิ้นส่วนเซรามิกอลูมินา 99.5% แบบสั่งทำพิเศษจาก ST.CERA
ผลิตจากผงเซรามิกบริสุทธิ์สูง ชิ้นส่วนเซรามิกจะถูกขึ้นรูปด้วยการอัดแห้งหรือการอัดไอโซสแตติกเย็น และเผาผนึกภายใต้อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงอย่างแม่นยำ มีการใช้งานอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ การสื่อสารทางแสง เลเซอร์ อุปกรณ์ทางการแพทย์ ปิโตรเลียม โลหะวิทยา และอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ ด้วยคุณสมบัติเด่น เช่น ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อการสึกหรอ และเป็นฉนวน
-
แขนจับเวเฟอร์เซรามิกอะลูมินาความแม่นยำสูง เซรามิกสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
ด้วยคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อการสึกหรอ และเป็นฉนวน เซรามิกจึงสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายประเภทภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
-
ชิ้นส่วนอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์แขนเซรามิกอลูมินาหุ้มฉนวน
ป้องกันอนุภาคที่อาจเกิดขึ้นจากขอบเอียงหรือขอบที่ทำมุม และพื้นผิวด้านหลังขณะที่แผ่นเวเฟอร์ถูกลำเลียงหรือสัมผัสกับอุปกรณ์จับยึด/แขนจับชิ้นงาน
สำหรับตัวนำทางนั้น เลือกใช้วัสดุที่อ่อนนุ่มซึ่งไม่ทำให้เวเฟอร์เสียหาย
สามารถทำให้วัสดุบางลงได้ด้วยเทคโนโลยีช่องสุญญากาศในตัวของ ST.CERA ซึ่งไม่ใช้กาว
สามารถเจาะรูสำหรับติดตั้ง และปรับเปลี่ยนความยาวและความกว้างของฐานที่ใช้ติดตั้งปลายแขน/แขนจับชิ้นงานบนหุ่นยนต์ได้
เซ็นเซอร์สำหรับติดตั้ง สกรู และขายึด มีให้เลือกเป็นอุปกรณ์เสริม
ออกแบบมาเพื่อใช้ในชั้นบรรยากาศ
-
เซรามิกอะลูมินาที่มีความแม่นยำสูง ทนต่ออุณหภูมิสูง
ท่อเซรามิกผลิตจากผงเซรามิกบริสุทธิ์สูง โดยขึ้นรูปด้วยวิธีการอัดแห้งหรือการอัดเย็นแบบไอโซสแตติก แล้วเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงอย่างแม่นยำ มีข้อดีหลายประการ เช่น ทนต่อการสึกหรอ ทนต่อการกัดกร่อน มีความแข็งสูง มีความเหนียวสูง และมีค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำ จึงใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์ทางการแพทย์ เครื่องจักรความแม่นยำ เลเซอร์ เครื่องมือวัด และอุปกรณ์ตรวจสอบ สามารถทำงานได้ในสภาวะกรดและด่างเป็นเวลานาน และอุณหภูมิสูงสุดสามารถสูงถึง 1600℃
-
แท่งเซรามิกอลูมินาทนแรงดันสูงและทนต่อการสึกหรอ ลูกสูบเซรามิก
ผลิตจากผงเซรามิกบริสุทธิ์สูง แท่งเซรามิกขึ้นรูปด้วยวิธีการอัดแห้งหรือการอัดไอโซสแตติกเย็น แล้วเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงอย่างแม่นยำ มีข้อดีหลายประการ เช่น ทนต่อการสึกหรอ ทนต่อการกัดกร่อน ความแข็งสูง ความเหนียวสูง และค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำ จึงใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์ทางการแพทย์ เครื่องจักรความแม่นยำ เลเซอร์ เครื่องมือวัด และอุปกรณ์ตรวจสอบ สามารถทำงานได้ในสภาวะกรดและด่างเป็นเวลานาน และอุณหภูมิสูงสุดสามารถสูงถึง 1600℃
-
ปลอกเพลาเซรามิกอลูมินา ลูกสูบเซรามิก
ผลิตจากผงเซรามิกบริสุทธิ์สูง แท่งเซรามิกขึ้นรูปด้วยวิธีการอัดแห้งหรือการอัดเย็นแบบไอโซสแตติก จากนั้นเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และทำการกลึงอย่างแม่นยำ มีข้อดีหลายประการ เช่น ทนต่อการสึกหรอ ทนต่อการกัดกร่อน มีความแข็งสูง มีความเหนียวสูง และมีค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำ จึงใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์ทางการแพทย์ เครื่องจักรความแม่นยำ เลเซอร์ เครื่องมือวัด และอุปกรณ์ตรวจสอบ สามารถทำงานได้ในสภาวะกรดและด่างเป็นเวลานาน และอุณหภูมิสูงสุดสามารถสูงถึง 1600℃ วัสดุเซรามิกที่เราใช้โดยทั่วไป ได้แก่ เซอร์โคเนีย อลูมินา (Al2O3) 95% ~ 99.9% ซิลิคอนไนไตรด์ (Si3N4) อลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN) และอื่นๆ
-
ประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมของชิ้นส่วนโครงสร้างเชิงกลเซรามิกอลูมินา
ชิ้นส่วนโครงสร้างเซรามิกเป็นคำทั่วไปที่ใช้เรียกชิ้นส่วนเซรามิกที่มีรูปทรงซับซ้อนหลากหลายรูปแบบ ผลิตจากผงเซรามิกบริสุทธิ์สูง ขึ้นรูปด้วยวิธีการอัดแห้งหรือการอัดเย็นแบบไอโซสแตติก แล้วเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงขึ้นรูปอย่างแม่นยำ มีการใช้งานอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ การสื่อสารทางแสง เลเซอร์ อุปกรณ์ทางการแพทย์ ปิโตรเลียม โลหะวิทยา และอิเล็กทรอนิกส์
-
ส่วนประกอบโครงสร้างเซรามิกอลูมินา ชิ้นส่วนโครงสร้าง
ชิ้นส่วนโครงสร้างเซรามิกเป็นคำทั่วไปที่ใช้เรียกชิ้นส่วนเซรามิกที่มีรูปทรงซับซ้อนหลากหลายรูปแบบ โดยขึ้นรูปด้วยวิธีการอัดแห้งหรือการอัดไอโซสแตติกเย็น แล้วเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงขึ้นรูปอย่างแม่นยำ
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 400℃~800℃
