-
หัวจับชิ้นงานเซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูงสำหรับหุ่นยนต์จัดการเวเฟอร์
หัวจับชิ้นงานเซรามิกอลูมินาของ St.Cera ผลิตขึ้นด้วยความแม่นยำสูงจาก Al₂O₃ บริสุทธิ์ 99.8% โดยใช้เครื่องเจียร CNC 5 แกนขั้นสูง กำลังการผลิตของเราประกอบด้วยเครื่องเจียรความแม่นยำสูงและเครื่องจักร CNC ทำให้สามารถผลิตรูปทรงเรขาคณิตที่ซับซ้อนได้อย่างแม่นยำสูง หัวจับชิ้นงานมีรูปทรงบาง (บางเพียง 1.5 มม.) พร้อมขอบนำที่เรียวเพื่อการสอดใส่แผ่นเวเฟอร์อย่างราบรื่น วัสดุมีความแข็งแรงสูง (โมดูลัสของยัง 380 GPa) ทนต่อการสึกหรอได้ดีเยี่ยม และมีเสถียรภาพทางความร้อนสูงถึง 800°C แต่ละชิ้นได้รับการเจียรอย่างแม่นยำเพื่อให้ได้ความเรียบ 0.003 มม. ความขนาน 0.002 มม. และความเรียบผิว Ra0.1 ทำให้มั่นใจได้ถึงการสัมผัสกับแผ่นเวเฟอร์ที่สม่ำเสมอและการทำงานที่ปราศจากอนุภาคในสภาพแวดล้อมโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ มีให้เลือกหลายความยาวตั้งแต่ 150 มม. ถึง 450 มม. พร้อมรูปทรงปลายที่กำหนดเอง (แบบจับขอบ แบบเบอร์นูลลี แบบแบน) และหน้าแปลนสำหรับติดตั้งเพื่อให้เข้ากับหุ่นยนต์ OEM ตัวเลือกการตกแต่งพื้นผิว ได้แก่ การขัดเงา การขัดผิว หรือการเคลือบสารป้องกันไฟฟ้าสถิต (10⁶–10⁹ โอห์ม/ตารางเมตร)
-
ST.CERA อุปกรณ์ปลายใบพัดแบบเบอร์นูลลีทำจากอลูมินาเซรามิกที่ปรับแต่งได้
ในฐานะผู้ผลิตชั้นนำของอุปกรณ์จับยึดชิ้นงานเซรามิก (End Effector/Handling Arm) เราได้พัฒนาอุปกรณ์จับยึดชิ้นงานเซรามิกแบบใหม่ที่ไม่เหมือนใคร เพื่อตอบสนองความต้องการของตลาด อุปกรณ์จับยึดชิ้นงานเซรามิกที่ใช้หลักการของเบอร์นูลลีนี้ สามารถลอยตัวและลำเลียงแผ่นเวเฟอร์ด้วยกระแสลม โดยมีการสัมผัสกับส่วนรอบข้างน้อยที่สุด
-
หัวจับเซรามิก ESD แบบกำหนดเอง ST.CERA
ด้วยคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อการสึกหรอ และเป็นฉนวน เซรามิกจึงสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายประเภทภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
-
หัวจับชิ้นงานเซรามิกอลูมินาแบบกำหนดเองของ ST.CERA
ด้วยคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อการสึกหรอ และเป็นฉนวน เซรามิกจึงสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายประเภทภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
-
ปลายด้ามจับถาดเซรามิกอลูมินาแบบกำหนดเองของ ST.CERA
นี่คือหัวจับชิ้นงาน/แขนจับชิ้นงานแบบถาดเซรามิก ที่ใช้ในสภาวะสุญญากาศ
ปลายแขนจับ/ด้ามจับเซรามิกนั้น "ทนความร้อนได้ดีกว่า" "เสียรูปทรงน้อยกว่า" และ "น้ำหนักเบากว่า" เมื่อเทียบกับแบบโลหะ
-
หัวดูดสุญญากาศแบบปรับแต่งได้ทำจากอลูมินาเซรามิกของ ST.CERA
ด้วยคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อการสึกหรอ และเป็นฉนวน เซรามิกจึงสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายประเภทภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
-
หัวจับชิ้นงานเซรามิกอลูมินาแบบกำหนดเองของ ST.CERA
ST.CERA นำเสนอวัสดุเคลือบ ESD และหัวจับอนุภาคเซรามิก ESD ที่ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิได้ 1600℃
-
หัวดูดสุญญากาศเซรามิกอลูมินาแบบกำหนดเองของ ST.CERA
นี่คือหัวจับชิ้นงาน/แขนจับชิ้นงานแบบถาดเซรามิก ที่ใช้ในสภาวะสุญญากาศ
ปลายแขนจับ/ด้ามจับเซรามิกนั้น "ทนความร้อนได้ดีกว่า" "เสียรูปทรงน้อยกว่า" และ "น้ำหนักเบากว่า" เมื่อเทียบกับแบบโลหะ
ด้วยคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อการสึกหรอ และเป็นฉนวน เซรามิกจึงสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายประเภทภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
-
ST.CERA อุปกรณ์จับยึดเวเฟอร์แบบสั่งทำพิเศษจากอลูมินาเซรามิก
ST.CERA นำเสนออุปกรณ์เคลือบ ESD และวัสดุเซรามิก ESD สำหรับส่วนปลายแขน/แขนจับชิ้นงาน พร้อมช่องอากาศกลวงในตัว เราเชี่ยวชาญในเทคนิคการสร้างช่องอากาศสุญญากาศภายในวัสดุชิ้นเดียวโดยไม่ต้องใช้กาว
ไม่มีความเสี่ยงจากการปนเปื้อน การปล่อยก๊าซ หรืออนุภาคใดๆ แขนจับชิ้นงาน/หัวดูดสุญญากาศของ ST.CERA ที่ใช้เทคโนโลยีการเคลือบพิเศษนั้นเป็นฉนวนไฟฟ้า นอกจากนี้เรายังสามารถจัดหาวัสดุเซรามิก ESD ที่เป็นฉนวนไฟฟ้าโดยไม่ต้องเคลือบใดๆ ได้อีกด้วย
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃ -
ชิ้นส่วนอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์เซรามิกอะลูมินา
ป้องกันอนุภาคที่อาจเกิดขึ้นจากขอบเอียงหรือขอบที่ทำมุม และพื้นผิวด้านหลังขณะที่แผ่นเวเฟอร์ถูกลำเลียงหรือสัมผัสกับอุปกรณ์จับยึด/แขนจับชิ้นงาน
สำหรับตัวนำทางนั้น เลือกใช้วัสดุที่อ่อนนุ่มซึ่งไม่ทำให้เวเฟอร์เสียหาย
สามารถทำให้วัสดุบางลงได้ด้วยเทคโนโลยีช่องสุญญากาศในตัวของ ST.CERA ซึ่งไม่ใช้กาว
สามารถเจาะรูสำหรับติดตั้ง และปรับเปลี่ยนความยาวและความกว้างของฐานที่ใช้ติดตั้งปลายแขน/แขนจับชิ้นงานบนหุ่นยนต์ได้
เซ็นเซอร์สำหรับติดตั้ง สกรู และขายึด มีให้เลือกเป็นอุปกรณ์เสริม
ออกแบบมาเพื่อใช้งานในชั้นบรรยากาศ
-
การผลิตหัวจับเซรามิก St.Cera ด้วยเครื่อง CNC ตามสั่ง
ST.CERA นำเสนอหัวจับ/แขนจับชิ้นงานเซรามิกสุญญากาศที่มีช่องกลวงในตัว เราเชี่ยวชาญในเทคนิคการสร้างช่องอากาศสุญญากาศภายในวัสดุชิ้นเดียวโดยไม่ต้องใช้กาว
ไม่มีความเสี่ยงต่อการปนเปื้อน การปล่อยก๊าซ หรืออนุภาคใดๆ แขนจับชิ้นงาน/หัวดูดสุญญากาศของ ST.CERA ที่มีช่องในตัวมีความทนทานและสามารถใช้งานได้ที่อุณหภูมิสูง ยิ่งไปกว่านั้น ต้นทุนการผลิตของเราสามารถลดลงได้ด้วยการตัดขั้นตอนการประกอบที่ไม่จำเป็นออกไป
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
-
หัวจับเซรามิกป้องกันไฟฟ้าสถิตอะลูมินา
ด้วยคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อการสึกหรอ และเป็นฉนวน เซรามิกจึงสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายประเภทภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
