เมื่อรวมกับข้อได้เปรียบด้านประสิทธิภาพที่ครอบคลุมของวัสดุพื้นผิว Al2O3 และ BeO แบบดั้งเดิม เซรามิกอะลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN) ซึ่งมีการนำความร้อนสูง (การนำความร้อนตามทฤษฎีของโมโนคริสตัลคือ 275W/m▪k，ค่าการนำความร้อนตามทฤษฎีของโพลีคริสตัลคือ 70~210W/m▪k ) ค่าคงที่ไดอิเล็กตริกต่ำ ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนที่เข้ากันกับซิลิกอนผลึกเดี่ยว และคุณสมบัติของฉนวนไฟฟ้าที่ดี เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับพื้นผิววงจรและบรรจุภัณฑ์ในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์นอกจากนี้ยังเป็นวัสดุที่สำคัญสำหรับส่วนประกอบเซรามิกโครงสร้างที่มีอุณหภูมิสูง เนื่องจากมีคุณสมบัติทางกลที่อุณหภูมิสูง คุณสมบัติทางความร้อน และความเสถียรทางเคมีที่ดี
ความหนาแน่นตามทฤษฎีของ AlN คือ 3.26g/cm3 ความแข็ง MOHS คือ 7-8 ความต้านทานต่ออุณหภูมิห้องมากกว่า 1,016Ωm และการขยายตัวทางความร้อนคือ 3.5×10-6/℃ (อุณหภูมิห้อง 200℃)เซรามิก AlN บริสุทธิ์ไม่มีสีและโปร่งใส แต่จะมีสีต่างๆ เช่น สีเทา สีขาวอมเทา หรือสีเหลืองอ่อน เนื่องจากมีสิ่งเจือปน
นอกจากการนำความร้อนสูงแล้ว เซรามิก AlN ยังมีข้อดีดังต่อไปนี้:
1. ฉนวนไฟฟ้าที่ดี
2. ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนที่คล้ายกันกับซิลิคอนโมโนคริสตัล เหนือกว่าวัสดุเช่น Al2O3 และ BeO
3. ความแข็งแรงทางกลสูงและความแข็งแรงรับแรงดัดที่คล้ายกันกับเซรามิก Al2O3
4. ค่าคงที่ไดอิเล็กทริกปานกลางและการสูญเสียอิเล็กทริก
5. เมื่อเปรียบเทียบกับ BeO แล้ว ค่าการนำความร้อนของเซรามิก AlN จะได้รับผลกระทบจากอุณหภูมิน้อยกว่า โดยเฉพาะที่สูงกว่า 200°C;
6. ทนต่ออุณหภูมิสูงและทนต่อการกัดกร่อน
7. ปลอดสารพิษ;
8. นำไปใช้กับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ อุตสาหกรรมเคมีโลหะวิทยา และสาขาอุตสาหกรรมอื่น ๆ
เวลาโพสต์: Jul-14-2023