page_banner

ST.CERA ปรับแต่งแขนตักเซรามิกอลูมินา 99.5%

ST.CERA ปรับแต่งแขนตักเซรามิกอลูมินา 99.5%

คำอธิบายสั้น:

Ceramic End Effector / Handling Arm ได้รับการติดตั้งบนหุ่นยนต์ขนย้ายแผ่นเวเฟอร์หรือ "end effector" และใช้เพื่อขนเวเฟอร์ซิลิคอนเข้าหรือออกจากคาสเซ็ตต์หรือห้องกระบวนการ
ประโยชน์ของการใช้เซรามิกคือลดการโก่งตัวเนื่องจากความแข็งแรงดัดงอสูง ความต้านทานต่ออุณหภูมิสูง และกำจัดการปนเปื้อนของโลหะและอนุภาค


รายละเอียดผลิตภัณฑ์

แท็กสินค้า

รายละเอียดสินค้า

ด้วยคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อการขัดถูและเป็นฉนวน เซรามิกจึงสามารถทำงานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายประเภทที่มีสภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้เป็นเวลานาน

ผลิตจากผงอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูง ประมวลผลโดยการกดแบบไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งขั้นสุดท้ายด้วยความแม่นยำ เซรามิกเอนด์เอฟเฟคเตอร์สามารถทนต่อขนาดได้ ±0.001 มม. ผิวสำเร็จ Ra 0.1 ทนต่ออุณหภูมิ 1600°C

Ceramic End Effector แบบมีคาวิตี้สามารถทำงานได้ที่อุณหภูมิสูงถึง 800°C เนื่องจากเทคโนโลยีการยึดเกาะแบบเซรามิกที่เป็นเอกลักษณ์

นี่คือลักษณะของอลูมินาเซรามิกที่มีความบริสุทธิ์ต่างกัน

พารามิเตอร์ผลิตภัณฑ์

โลโก้

เอสที.เซร่า บจก.

เอกสารข้อมูลวัสดุ

คุณสมบัติ หน่วย อลูมินา (Al2O3)
อัล2O3 99% อัล2O3 99.5% อัล2O3 99.8% อัล2O3 99.9%
สี สีขาว งาช้าง งาช้าง งาช้าง
ความหนาแน่น กรัม/ซม3 3.88 3.90 3.93 3.95
ดูดซึมน้ำ % 0 0 0 0
ขนาดเกรน ไมโครเมตร 2~5 2~5 2~5 2~4
ความแข็งแรงของแรงดัดงอ MPa 350 360 361 350
ความเหนียวแตกหัก MPa·m1/2 3~4 3~4 3~4 3~4
ความแข็งของวิคเกอร์ เกรดเฉลี่ย 14 15.5 16 16
โมดูลัสยืดหยุ่นของยัง เกรดเฉลี่ย 370 370 380 390
การนำความร้อน W/m·k 28 32 32 34
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน 10-6/℃ 7.2 7.2 7.2 7.2
ค่าคงที่ไดอิเล็กทริก 9.5 9.6 9.6 9.9
มุมการสูญเสียอิเล็กทริก 0.0001 0.0001 0.0001 0.0001
ความเป็นฉนวน โวลต์/ม 15×106 15×106 15×106 15×106
ความต้านทานจำเพาะ Ω ·มม.2/ม ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014

กระบวนการผลิต

สเปรย์แกรนูล → ผงเซรามิก → การขึ้นรูป → การเผาผนึกเปล่า → การเจียรหยาบ → เครื่องจักรกลซีเอ็นซี → การเจียรละเอียด → การตรวจสอบขนาด → การทำความสะอาดการบรรจุ

รายละเอียดที่จำเป็น

สมุฏฐาน: หูหนาน ประเทศจีน
วัสดุ: อลูมินาเซรามิก
รหัส HS: 85471000
ความสามารถในการจัดหา: 100 ชิ้นต่อเดือน
ระยะเวลาดำเนินการ: 3-4 สัปดาห์
บรรจุภัณฑ์: กล่องกระดาษลูกฟูก, โฟม, กล่อง
อื่นๆ:มีบริการปรับแต่งให้


  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป: