ST.CERA วงแหวนโฟกัสเซรามิกเซมิคอนดักเตอร์แบบกำหนดเอง

ทำจากเซรามิกอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูง (มากกว่า 99.5%) ขึ้นรูปโดยการกดไอโซสแตติกเย็นและเผาภายใต้อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงกลึงและขัดเงาอย่างแม่นยำ ชิ้นส่วนอะไหล่เซรามิกสามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์พร้อมคุณสมบัติต้านทานการสึกหรอ ความต้านทานการกัดกร่อน การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และฉนวน

ด้วยคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อการขัดถูและเป็นฉนวน เซรามิกจึงสามารถทำงานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายประเภทที่มีสภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้เป็นเวลานาน

ผลิตจากผงอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูง ประมวลผลโดยการกดแบบไอโซสแตติกแบบเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการเก็บผิวละเอียดอย่างแม่นยำ ทำให้สามารถทนต่อขนาดได้ ±0.001 มม. ผิวสำเร็จ Ra 0.1 ทนต่ออุณหภูมิ 1600°C

นี่คือลักษณะของอลูมินาเซรามิกที่มีความบริสุทธิ์ต่างกัน