วงแหวนฉนวนอลูมินา PVD สำหรับระบบการเคลือบด้วยไอระเหยทางกายภาพ (Physical Vapor Deposition Systems)
วงแหวนฉนวน PVD ของ St.Cera ผลิตจากอลูมินาบริสุทธิ์สูง 99.8% (Al₂O₃) สำหรับใช้ในระบบการเคลือบด้วยไอระเหยทางกายภาพ (PVD) วงแหวนนี้ทำหน้าที่เป็นฉนวนไฟฟ้าคั่นระหว่างส่วนประกอบต่างๆ ในห้อง ป้องกันการเกิดประกายไฟ และทำให้การทำงานของพลาสมามีเสถียรภาพ คุณสมบัติที่สำคัญ ได้แก่ ความแข็งแรงของฉนวนสูง (15×10⁶ V/m) ความต้านทานจำเพาะ >10¹⁴ Ω·mm²/m และความเสถียรทางความร้อนสูงถึง 1600°C ความสามารถในการกลึงที่แม่นยำของเราทำให้ได้เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอกสูงสุด 600 มม. เส้นผ่านศูนย์กลางภายในต่ำสุด 0.2 มม. ความเรียบ 0.003 มม. และผิวสำเร็จ Ra0.1 ความไม่มีรูพรุนและความเฉื่อยทางเคมีของวงแหวนช่วยให้มั่นใจได้ถึงความน่าเชื่อถือในระยะยาวในสภาพแวดล้อมการสปัตเตอร์ที่รุนแรง
ข้อมูลจำเพาะ (อ้างอิงจากอลูมิเนียม 99.8%)₂O₃(และศักยภาพการผลิตของ St.Cera):
| คุณสมบัติ | ค่า |
| วัสดุ | อลูมินา 99.8% (สีงาช้าง) |
| ความหนาแน่น | 3.93 กรัม/ซม³ |
| ความแข็งแรงดัดงอ | 361 เมกะปาสคาล |
| ความแข็งวิคเกอร์ส | 16 จีพีเอ |
| ความแข็งแรงของไดอิเล็กทริก | 15×10⁶ V/m |
| ความต้านทานจำเพาะ | >10¹⁴ โอห์ม·มม.²/ม. |
| เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอกสูงสุด | 600 มม. |
| เส้นผ่านศูนย์กลางภายในขั้นต่ำ | 0.2 มม. |
| ความหนาสูงสุด | 100 มม. |
| ความเรียบ | 0.003 มม. |
| ความขนาน | 0.002 มม. |
| การตกแต่งพื้นผิว | รา0.1 |
| อุณหภูมิใช้งานสูงสุด | 1600°C |
การใช้งาน:
- • กำหนดเป้าหมายฉนวนแผ่นรองในระบบ PVD
- • ฉนวนแบบทะลุผ่านห้อง
- • ฉนวนวงแหวนป้องกันในระบบสปัตเตอร์ริ่ง
- • การแยกส่วนแรงดันสูงในห้องพลาสมา
ความแม่นยำในการผลิต:
ความเที่ยงตรงของศูนย์กลาง: 0.01 มม., ความกลม: 0.002 มม., ความตรง: 0.005 มม., ความตั้งฉาก: 0.005 มม., ตรวจสอบโดยเครื่องวัดพิกัดสามมิติ (CMM)
Aข้อดีเหนือกว่าฉนวนโพลีเมอร์:
- • ทนความร้อนได้ถึง 1600°C ในขณะที่โพลิเมอร์ทั่วไปทนได้ต่ำกว่า 300°C
- • ไม่มีการปล่อยก๊าซ – รักษาความสมบูรณ์ของสุญญากาศ
- • ทนทานต่อการกัดกร่อนจากพลาสมาและการโจมตีทางเคมี
การปรับแต่ง:
สามารถปรับแต่งหน้าตัด คุณสมบัติการติดตั้ง รูปทรงขั้นบันได และการออกแบบวงแหวนศูนย์กลางหลายชั้นได้ตามต้องการ
