หัวจับชิ้นงานเซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูงสำหรับหุ่นยนต์จัดการเวเฟอร์

หัวจับชิ้นงานเซรามิกอลูมินาของ St.Cera ผลิตขึ้นด้วยความแม่นยำสูงจาก Al₂O₃ บริสุทธิ์ 99.8% โดยใช้เครื่องเจียร CNC 5 แกนขั้นสูง กำลังการผลิตของเราประกอบด้วยเครื่องเจียรความแม่นยำสูงและเครื่องจักร CNC ทำให้สามารถผลิตรูปทรงเรขาคณิตที่ซับซ้อนได้อย่างแม่นยำสูง หัวจับชิ้นงานมีรูปทรงบาง (บางเพียง 1.5 มม.) พร้อมขอบนำที่เรียวเพื่อการสอดใส่แผ่นเวเฟอร์อย่างราบรื่น วัสดุมีความแข็งแรงสูง (โมดูลัสของยัง 380 GPa) ทนต่อการสึกหรอได้ดีเยี่ยม และมีเสถียรภาพทางความร้อนสูงถึง 800°C แต่ละชิ้นได้รับการเจียรอย่างแม่นยำเพื่อให้ได้ความเรียบ 0.003 มม. ความขนาน 0.002 มม. และความเรียบผิว Ra0.1 ทำให้มั่นใจได้ถึงการสัมผัสกับแผ่นเวเฟอร์ที่สม่ำเสมอและการทำงานที่ปราศจากอนุภาคในสภาพแวดล้อมโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ มีให้เลือกหลายความยาวตั้งแต่ 150 มม. ถึง 450 มม. พร้อมรูปทรงปลายที่กำหนดเอง (แบบจับขอบ แบบเบอร์นูลลี แบบแบน) และหน้าแปลนสำหรับติดตั้งเพื่อให้เข้ากับหุ่นยนต์ OEM ตัวเลือกการตกแต่งพื้นผิว ได้แก่ การขัดเงา การขัดผิว หรือการเคลือบสารป้องกันไฟฟ้าสถิต (10⁶–10⁹ โอห์ม/ตารางเมตร)

ข้อมูลจำเพาะ (อ้างอิงจากอลูมิเนียม 99.8%)₂O₃(และศักยภาพการผลิตของ St.Cera):

การใช้งาน:

• • การลำเลียงเวเฟอร์ในหุ่นยนต์สุญญากาศและหุ่นยนต์ในบรรยากาศปกติ
• • อุปกรณ์จับยึดชิ้นงานอัตโนมัติสำหรับกระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์ขนาด 200 มม./300 มม.
• • การจัดการเวเฟอร์บาง (พร้อมตัวเลือก ESD)

ความสามารถในการผลิต:
เครื่องเจียรความแม่นยำสูงและเครื่องจักร CNC ของเราช่วยให้สามารถผลิตชิ้นส่วนเซรามิกที่ซับซ้อนได้ด้วยคุณสมบัติดังต่อไปนี้:

• • ความยาวในการตัดเฉือนสูงสุด: 1500 มม.
• • เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอกสูงสุด: 600 มม.
• • เส้นผ่านศูนย์กลางภายในขั้นต่ำ: 0.2 มม.
• • ความหนาสูงสุด: 100 มม.

การควบคุมคุณภาพ:
ความตรง 0.005 มม., ความตั้งฉาก 0.005 มม., ความกลม 0.002 มม., ความขนาน 0.002 มม., ความเป็นศูนย์กลาง 0.01 มม. ได้รับการตรวจสอบโดย CMM แล้ว แต่ละหน่วยได้รับการทำความสะอาดด้วยคลื่นอัลตราโซนิคและบรรจุในห้องปลอดเชื้อระดับ Class 100