หมุดรองรับเซรามิกสำหรับอุปกรณ์จับยึดในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
หมุดรองรับเซรามิกของ St.Cera (หรือที่รู้จักกันในชื่อหมุดยกหรือหมุดรองรับ) ใช้ในห้องกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เพื่อยกแผ่นเวเฟอร์หรือวัสดุรองรับในระหว่างการจัดการ การให้ความร้อน หรือการทำให้เย็น ผลิตจากอลูมินาหรือซิลิคอนไนไตรด์ 99.8% หมุดเหล่านี้มีความแข็งแรงในการรับแรงกดสูง มีเสถียรภาพทางความร้อน และทนต่อสารเคมี การออกแบบปลายทรงครึ่งวงกลมหรือปลายแบนช่วยป้องกันรอยขีดข่วนบนแผ่นเวเฟอร์
ข้อกำหนด(อลูมินา 99.8%)
| คุณสมบัติ | ค่า |
| วัสดุ | 99.8% Al₂O₃ หรือ Si₃N₄ |
| ความยาว | 10 – 100 มม. |
| เส้นผ่านศูนย์กลาง | 1 – 10 มม. |
| รูปทรงปลาย | แบน ครึ่งทรงกลม ปลายแหลม |
| ความแข็งแรงรับแรงอัด (Al₂O₃) | >2000 เมกะปาสคาล |
| อุณหภูมิใช้งานสูงสุด (Al₂O₃) | 1600°C |
| การตกแต่งพื้นผิว | ขัดเงา (Ra ≤0.4 μm) |
| ค่าความคลาดเคลื่อนของเส้นผ่านศูนย์กลาง | ±0.01 มม. |
การใช้งาน:
สลักยกในห้อง CVD/PVD
ขาตั้งสำหรับอบอาหารบนเตาไฟฟ้า
โครงสร้างรองรับการ์ดโพรบ
ที่รองรับเรือเตาควอตซ์
การผลิต:
การเจียรแบบไร้ศูนย์กลางที่แม่นยำของเส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก → การเจียรปลายด้วยเพชร → การทำความสะอาดด้วยคลื่นอัลตราโซนิค → การตรวจสอบขนาด 100%
การควบคุมคุณภาพ:
ใช้เครื่อง CMM สำหรับวัดความยาว/เส้นผ่านศูนย์กลาง, เครื่องเปรียบเทียบเชิงแสงสำหรับวัดรัศมีปลาย, การทดสอบแรงกดเพื่อตรวจสอบความแข็งแรงในการรับแรงอัด (สุ่มตัวอย่างจากแต่ละล็อต) ไม่มีการปนเปื้อนของสารแม่เหล็ก (ตรวจสอบด้วยแม่เหล็กแล้ว)
ข้อดีเหนือกว่าหมุดโลหะหรือควอตซ์:
อายุการใช้งานยาวนานกว่าสแตนเลสถึง 5 เท่า
ไม่มีการปนเปื้อนของโลหะในห้องกระบวนการ
ทนอุณหภูมิได้สูงกว่าควอตซ์ (1600°C เทียบกับ 1100°C)
พื้นผิวไม่ติด (ลดการเกาะติดของอนุภาค)
การปรับแต่ง:
มีให้เลือกหลายรูปทรงของหัวเสียบ ฐานแบบเกลียว หรือแกนเรียว
นอกจากนี้เรายังจัดจำหน่ายพิน SiC สำหรับสภาพแวดล้อมพลาสมาที่รุนแรงอีกด้วย
