ด้วยคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อการสึกหรอ และเป็นฉนวน เซรามิกจึงสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายประเภทภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน