หัวจับชิ้นงานเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) – ความแข็งแรงสูง เหมาะสำหรับการจัดการเวเฟอร์ที่อุณหภูมิสูง
หัวจับชิ้นงานเซรามิก SiC ของ St.Cera ผลิตจากซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์สูง (ปริมาณ SiC 99.72%, Si อิสระ 0.05%) โดยใช้วัตถุดิบ S1111 มีคุณสมบัติทางกลที่ยอดเยี่ยม ได้แก่ ความแข็งแรงดัดงอ 449 MPa (วัดได้), โมดูลัสยืดหยุ่น 457 GPa (วัดได้) และความแข็งวิคเกอร์ 25–28 GPa (โดยทั่วไป) ความหนาแน่นต่ำ (3.10–3.15 g/cm³ โดยทั่วไป) ทำให้มีความแข็งแกร่งจำเพาะสูง เหมาะสำหรับหุ่นยนต์ถ่ายโอนเวเฟอร์ความเร็วสูง ด้วยค่าการนำความร้อน 120–150 W/m·K (โดยทั่วไป) และค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (โดยทั่วไป) หัวจับชิ้นงานนี้จึงระบายความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพและรักษาเสถียรภาพของขนาดในระหว่างการใช้งานที่อุณหภูมิสูง (สูงสุด 1600–1700°C โดยไม่มีโหลด) สีดำ/เทา และการไม่ดูดซับน้ำ ทำให้สามารถใช้งานในห้องปลอดเชื้อได้
ข้อกำหนด(อ้างอิงจากรายงานการทดสอบ SiC S1111 และค่าทั่วไปที่ให้มา)):
| คุณสมบัติ | ค่า |
| วัสดุ | ซิลิคอนคาร์ไบด์ (99.72% ซิลิคอนคาร์ไบด์, 0.05% ซิลิคอนอิสระ) |
| สี | ดำ/เทา |
| ความหนาแน่น | 3.10–3.15 กรัม/ซม³ |
| การดูดซับน้ำ | 0% |
| ความแข็งแรงดัดงอ | 449 เมกะปาสคาล (เฉลี่ย) |
| ความทนทานต่อการแตกหัก | 3.12 MPa·m¹/² (เฉลี่ย) |
| โมดูลัสความยืดหยุ่น | 457 จีพีเอ |
| ความแข็งวิคเกอร์ส | 25–28 GPa |
| ค่าการนำความร้อน (25°C) | 120–150 วัตต์/เมตร·เคลวิน |
| ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (CTE) (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| อุณหภูมิใช้งานสูงสุด (ขณะไม่มีโหลด) | 1600–1700°C |
การใช้งาน:
● การจัดการเวเฟอร์ที่อุณหภูมิสูง (การอบหลังการผลิต, RTP, การปลูกผลึก)
● ห้องกัดเซาะด้วยพลาสมาที่ต้องการความทนทานต่อการกัดกร่อนสูง
● หุ่นยนต์ลำเลียงความเร็วสูง (น้ำหนักเบา ความแข็งแรงสูง)
การผลิต:
การเผาผนึกผง SiC → การเจียร CNC ความแม่นยำสูงสำหรับรูปทรงแขนและส่วนประกอบการติดตั้ง → การขัดผิว → การทำความสะอาดด้วยคลื่นอัลตราโซนิค การตรวจสอบขนาด 100% และการทดสอบการรั่วไหลของฮีเลียมสำหรับการใช้งานในสภาวะสุญญากาศ
การควบคุมคุณภาพ:
● การตรวจสอบความยาว ความกว้าง และความเรียบด้วยเครื่อง CMM
● การทดสอบความแข็งแรงดัดงอต่อชุดการผลิต (ตามมาตรฐานรายงานการทดสอบ)
● การตรวจสอบด้วยสายตาภายใต้กล้องจุลทรรศน์เพื่อหาข้อบกพร่องบนพื้นผิว
ข้อดีเหนือกว่าอะลูมินาหรือโลหะ:
● ค่าโมดูลัสความยืดหยุ่นสูงกว่า 2 เท่า (457 เทียบกับประมาณ 380 GPa สำหรับอะลูมินา) – การโก่งตัวน้อยลง
● ค่าการนำความร้อนสูงกว่า 3 เท่า – ระบายความร้อนได้เร็วขึ้น
● ทนความร้อนได้สูงกว่า 1600°C ในขณะที่อะลูมินาทนได้เพียง 800°C ในอากาศ
● มีความหนาแน่นต่ำกว่าเหล็ก – ลดน้ำหนักได้ 40%
การปรับแต่ง:
ความยาว 150–450 มม. รูปทรงปลาย (แบบจับขอบ, แบบเบอร์นูลลี, แบบแบน) รูปแบบหน้าแปลนสำหรับติดตั้งตามแบบของผู้ผลิต (OEM)
*ข้อมูลทางกลทั้งหมดข้างต้นมาจากรายงานการทดสอบที่ให้มา (ชุด S1111) ค่าความทนความร้อนและความแข็งเป็นค่าทั่วไปสำหรับเกรด SiC นี้ โปรดติดต่อเราเพื่อขอใบรับรองเฉพาะล็อต*
