วงแหวนโฟกัสเซรามิกเซมิคอนดักเตอร์แบบกำหนดเอง ST.CERA

คำอธิบายโดยย่อ:

ผลิตจากเซรามิกอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูง (มากกว่า 99.5%) ขึ้นรูปด้วยกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็นและเผาผนึกภายใต้อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงและขัดเงาอย่างแม่นยำ ชิ้นส่วนอะไหล่เซรามิกเหล่านี้สามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้ทุกประเภท ด้วยคุณสมบัติทนต่อการสึกหรอ ทนต่อการกัดกร่อน การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และเป็นฉนวน

ด้วยคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อการสึกหรอ และเป็นฉนวน เซรามิกจึงสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายประเภทภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน

ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃