หัวจับสุญญากาศอลูมินาขนาด 12 นิ้ว สำหรับการประมวลผลเวเฟอร์ขนาด 300 มม.
หัวจับสุญญากาศขนาด 12 นิ้วของ St.Cera ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมอย่างแม่นยำจากอลูมินาบริสุทธิ์สูง 99.8% (Al₂O₃) สำหรับการจัดการเวเฟอร์ขนาด 300 มม. หัวจับมีพื้นผิวเป็นร่องละเอียด (ความกว้างของร่อง 0.5–1.0 มม. ระยะห่างของร่อง 2–3 มม.) เพื่อให้มั่นใจได้ว่ามีการกระจายสุญญากาศอย่างสม่ำเสมอทั่วทั้งเส้นผ่านศูนย์กลาง 300 มม. ความเรียบจะคงอยู่ภายใน 5 μm ทำให้สามารถยึดเวเฟอร์ได้อย่างมั่นคงโดยไม่บิดงอในระหว่างการตัด การเจียรด้านหลัง และการตรวจสอบ ความแข็งแรงดัดงอสูง (361 MPa) และความแข็ง (16 GPa) ของวัสดุรับประกันความเสถียรของมิติในระยะยาวแม้ภายใต้รอบสุญญากาศซ้ำๆ
ข้อกำหนด (อ้างอิงจาก Al₂O₃ 99.8%)
| คุณสมบัติ | ค่า |
| เส้นผ่านศูนย์กลาง | 300 มม. (12 นิ้ว) |
| วัสดุ | อลูมินา 99.8% (สีงาช้าง) |
| ความหนาแน่น | 3.93 กรัม/ซม³ |
| ความแข็งแรงดัดงอ | 361 เมกะปาสคาล |
| ความแข็งวิคเกอร์ส | 16 จีพีเอ |
| ความเรียบ (มากกว่า 300 มม.) | ≤5 ไมโครเมตร |
| ความกว้างของร่อง | 0.5–1.0 มม. |
| อุณหภูมิใช้งานสูงสุด | 800°C |
| ความแข็งแรงของไดอิเล็กทริก | 15×10⁶ V/m |
การใช้งาน:
การตัดและสลักแผ่นเวเฟอร์ขนาด 300 มม.
การเจียรด้านหลังแผ่นเวเฟอร์ (เพื่อรองรับแผ่นเวเฟอร์บาง)
การตรวจสอบและการสำรวจด้วยแสง
หัวจับยึด/ถอดชิ้นงานชั่วคราว
การผลิต:
ผ่านการเจียรและขัดเงาด้วยเครื่อง CNC จนได้ความเรียบสมบูรณ์ เซาะร่องด้วยล้อเพชร ทำความสะอาดด้วยคลื่นอัลตราโซนิค และบรรจุในห้องปลอดเชื้อระดับ 100 หัวจับแต่ละชิ้นได้รับการตรวจสอบความเรียบ (ด้วยเครื่องวัดการรบกวนของแสงเลเซอร์) และความลึกของร่อง (ด้วยเครื่องวัดโปรไฟล์) 100%
ข้อดี:
• การสร้างอนุภาคในปริมาณต่ำ (≤0.05 อนุภาค/cm²)
• มีคุณสมบัติเฉื่อยต่อตัวทำละลายและกรด
• พื้นผิวที่ปลอดภัยจาก ESD (ความต้านทาน >10¹³ Ω·cm)
สามารถสั่งทำรูปแบบรูดูดอากาศและช่องต่อด้านหลังแบบกำหนดเองได้
