ผู้ผลิตและจำหน่ายหัวจับสุญญากาศเซรามิกพรุนแบบสั่งทำพิเศษ

หัวจับสุญญากาศเซรามิกพรุนชนิดอลูมินาสำหรับจัดการแผ่นเวเฟอร์บาง

คำอธิบายโดยย่อ:

หัวจับแบบพรุนที่ทำจากอลูมินาของ St.Cera ผลิตจาก Al₂O₃ บริสุทธิ์สูง 99.6% โดยมีการควบคุมความพรุนแบบเปิดที่ 30–45% และขนาดรูพรุนสม่ำเสมอตั้งแต่ 10 ถึง 50 ไมโครเมตร แตกต่างจากหัวจับแบบร่อง หัวจับแบบพรุนนี้ช่วยกระจายสุญญากาศไปทั่วด้านหลังของแผ่นเวเฟอร์ ทำให้ไม่มีรอยขอบ และช่วยให้ยึดแผ่นเวเฟอร์บางพิเศษ (≤100 ไมโครเมตร) หรือแผ่นเวเฟอร์ที่บิดเบี้ยวได้อย่างอ่อนโยน วัสดุนี้มีความแข็งแรงดัดงอ ≥250 MPa และเสถียรภาพทางความร้อนสูงถึง 400°C ในอากาศ

ส่งอีเมลถึงเรา

รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

ข้อกำหนด(อ้างอิงจากอะลูมิเนียม 99.6%)₂O₃):

คุณสมบัติ	ค่า
วัสดุ	อลูมินา 99.6% (สีขาว)
ความพรุน	30–45% (ปรับได้)
ขนาดรูพรุนเฉลี่ย	10–50 ไมโครเมตร
ความแข็งแรงดัดงอ	≥250 MPa
ความหนาแน่น	3.88 กรัม/ซม³
ความเรียบ (มากกว่า 200 มม.)	≤5 ไมโครเมตร
อุณหภูมิใช้งานสูงสุด	400°C (อากาศ)
การตกแต่งพื้นผิว	ขัดเงา (Ra ≤0.8 μm)

การใช้งาน:

• การเจียรด้านหลังของเวเฟอร์บาง (≤50 μm)
• การติดตั้งเวเฟอร์ที่บิดเบี้ยวสำหรับการหั่น
• การหยิบแม่พิมพ์แบบแยกชิ้น
· การจัดการพื้นผิวแก้ว

การผลิต:

ผงผสมกับสารก่อรูพรุน → การอัดแบบไอโซสแตติก → การเผาผนึกที่อุณหภูมิ 1600°C → การขัดให้ได้ความหนาตามต้องการ ชิ้นงานแต่ละชิ้นจะได้รับการทดสอบการไหลเพื่อตรวจสอบความสม่ำเสมอของสุญญากาศ (ความเบี่ยงเบนของความดัน <5%) และตรวจสอบการกระจายขนาดรูพรุน (SEM)

ข้อดีเหนือกว่าหัวจับแบบเดิม: