หัวจับชิ้นงานเซรามิกอลูมินาพร้อมช่องดูดสุญญากาศในตัว
หัวจับชิ้นงานแบบสุญญากาศของ St.Cera ที่ทำจากอลูมินา ผสานรวมช่องสุญญากาศและรูดูดที่ผ่านการกลึงอย่างแม่นยำเข้ากับตัวอลูมินาบริสุทธิ์สูง 99.8% โดยตรง การออกแบบนี้ช่วยขจัดแผ่นสุญญากาศภายนอก ทำให้สามารถจับเวเฟอร์ได้โดยตรงด้วยแรงยึดที่สม่ำเสมอ ความแข็งแรงดัดงอสูง (361 MPa) และความแข็ง (16 GPa) ของวัสดุช่วยให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรของขนาดในระยะยาวภายใต้รอบการดูดสุญญากาศซ้ำๆ ความเรียบของพื้นที่แผ่นจับชิ้นงานจะคงอยู่ภายใน 10 μm ป้องกันความเครียดและการแตกหักของเวเฟอร์ พอร์ตสุญญากาศอยู่ที่หน้าแปลนยึดด้านหลังเพื่อการรวมเข้ากับแขนหุ่นยนต์ของ OEM ได้อย่างง่ายดาย
ข้อกำหนด(อิงตาม Al₂O₃ 99.8%):
| คุณสมบัติ | ค่า |
| วัสดุ | อลูมินา 99.8% (สีงาช้าง) |
| ความหนาแน่น | 3.93 กรัม/ซม³ |
| ความแข็งแรงดัดงอ | 361 เมกะปาสคาล |
| ความแข็งวิคเกอร์ส | 16 จีพีเอ |
| โมดูลัสของยัง | 380 จีพีเอ |
| การขยายตัวทางความร้อน | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| ความเรียบของแผ่นรอง | ≤10 μm |
| ความกว้างของช่องสุญญากาศ | 0.5–2.0 มม. |
| อุณหภูมิใช้งานสูงสุด | 800°C |
การใช้งาน:
● การดูดแผ่นเวเฟอร์บางหรือบิดเบี้ยวด้วยระบบสุญญากาศ
● การจัดการเวเฟอร์โดยตรงโดยไม่ต้องใช้ตัวจับขอบ
● การถ่ายโอนเซลล์แสงอาทิตย์และแผ่นรองพื้น LED
การผลิต:
ชิ้นงานอลูมินาเผาผนึก → การเจาะรูและช่องสุญญากาศด้วยเครื่อง CNC 5 แกน → การขัดผิว → การทำความสะอาดด้วยคลื่นอัลตราโซนิค → การทดสอบการรั่วไหลของฮีเลียม แต่ละชิ้นส่วนได้รับการทดสอบการไหล 100% เพื่อความสม่ำเสมอของสุญญากาศ
ข้อดี:
● ไม่ต้องใช้แผ่นดูดฝุ่นภายนอก (ช่วยลดแหล่งกำเนิดฝุ่นละออง)
● แรงกดในการยึดที่สม่ำเสมอช่วยป้องกันการเกิดรอยบนแผ่นเวเฟอร์
● มีคุณสมบัติเฉื่อยต่อสารเคมีและใช้งานได้ในห้องปลอดเชื้อ
