ชิ้นส่วนเซรามิกอลูมินาที่ปลอดภัยจากไฟฟ้าสถิต สำหรับการจัดการเวเฟอร์ที่ไวต่อไฟฟ้าสถิต

ชิ้นส่วนเซรามิกอลูมินาที่ปลอดภัยจาก ESD (การปล่อยประจุไฟฟ้าสถิต) ของ St.Cera ผลิตจาก Al₂O₃ บริสุทธิ์สูง 99.8% โดยมีค่าความต้านทานพื้นผิวที่ปรับแต่งได้ที่ 10⁶–10⁹ Ω/sq ซึ่งได้มาจากการกระบวนการโดปปิ้งหรือการเคลือบที่เป็นกรรมสิทธิ์ ชิ้นส่วนเหล่านี้สามารถกระจายประจุไฟฟ้าสถิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ ป้องกันความเสียหายจากไฟฟ้าสถิตต่อแผ่นเวเฟอร์และอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่ไวต่อความเสียหาย วัสดุพื้นฐานยังคงรักษาความแข็งแรงดัดงอสูง (361 MPa) ความแข็ง (16 GPa) และความแข็งแรงทางไฟฟ้า (15×10⁶ V/m) ชิ้นส่วนเซรามิกที่ปลอดภัยจาก ESD ได้แก่ ปลายแขนกล หมุดยก รางนำ และอุปกรณ์จับยึดแบบกำหนดเองสำหรับระบบอัตโนมัติในโรงงานผลิต (FAB automation)

ข้อกำหนด(ผลิตจาก Al₂O₃ บริสุทธิ์ 99.8% พร้อมการบำบัดด้วย ESD):

หมายเหตุ: ค่าความต้านทานพื้นผิว ESD ไม่ได้ระบุไว้ในตารางคุณสมบัติวัสดุที่ให้มา ช่วงค่าข้างต้นเป็นมาตรฐานอุตสาหกรรมสำหรับเซรามิกที่ช่วยลดการสูญเสียพลังงาน โปรดติดต่อเราเพื่อขอรายงานการทดสอบ

การใช้งาน:

● อุปกรณ์ปลายทางที่ปลอดภัยจากไฟฟ้าสถิต (ESD-safe end effectors) สำหรับการขนย้ายเวเฟอร์

● ขั้วต่อสายดินและอุปกรณ์ป้องกันไฟฟ้าสถิตในอุปกรณ์โรงงานผลิต

● ทดสอบเต้ารับสำหรับอุปกรณ์ที่ไวต่อไฟฟ้าสถิต

● อุปกรณ์สำหรับห้องปลอดเชื้อที่การควบคุมไฟฟ้าสถิตมีความสำคัญอย่างยิ่ง

การผลิตและคุณภาพ:

กระบวนการผลิตอลูมินามาตรฐาน + การบำบัดพื้นผิวด้วย ESD → วัดค่าความต้านทานพื้นผิวตามมาตรฐาน ANSI/ESD STM11.11 ชิ้นส่วนทุกชิ้นผ่านการทดสอบ 100% ด้วยอิเล็กโทรดวงแหวนศูนย์กลาง

ข้อดี:

● ป้องกันการสูญเสียผลผลิตที่เกิดจาก ESD

● ช่วยรักษาความแข็งแรงเชิงกลและความทนทานต่อสารเคมีของเซรามิก

● ไม่มีการสร้างอนุภาคจากประจุไฟฟ้าสถิต