หัวจับสุญญากาศอะลูมินาสำหรับงานตัดและเจียรความแม่นยำสูง
หัวจับสุญญากาศอลูมินาของ St.Cera ผลิตจาก Al₂O₃ บริสุทธิ์สูง 99.8% พร้อมร่องสุญญากาศที่ผ่านการกลึงอย่างแม่นยำ ความสามารถในการเจียรที่แม่นยำของเราทำให้ได้ความเรียบที่ 0.003 มม. และความขนานที่ 0.002 มม. ช่วยให้ยึดแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างมั่นคงปราศจากการบิดเบี้ยวระหว่างการตัด การเจียรด้านหลัง และการตรวจสอบ วัสดุมีความแข็งแรงดัดงอสูง (361 MPa) ความแข็ง (16 GPa) และเสถียรภาพทางความร้อนสูงถึง 800°C มีให้เลือกทั้งแบบกลมขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก (OD) สูงสุด 600 มม. และแบบสี่เหลี่ยมผืนผ้าความยาวสูงสุด 1500 มม. ร่องสุญญากาศได้รับการออกแบบตามสั่ง (แบบวงกลม แบบรัศมี หรือแบบตาราง) เพื่อให้เหมาะกับข้อกำหนดของกระบวนการเฉพาะ หัวจับแต่ละชิ้นจะได้รับการตรวจสอบด้วยเครื่องวัดความเรียบด้วยเลเซอร์และมีรายงานการตรวจสอบความเรียบแนบมาด้วย
ข้อมูลจำเพาะ (อ้างอิงจากอลูมิเนียม 99.8%)₂O₃(และศักยภาพการผลิตของ St.Cera):
| คุณสมบัติ | ค่า |
| วัสดุ | อลูมินา 99.8% (สีงาช้าง) |
| ความหนาแน่น | 3.93 กรัม/ซม³ |
| ความแข็งแรงดัดงอ | 361 เมกะปาสคาล |
| ความแข็งวิคเกอร์ส | 16 จีพีเอ |
| เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก (สูงสุด) | 600 มม. |
| ความหนา (สูงสุด) | 100 มม. |
| ความยาว (สูงสุด) | 1500 มม. |
| ความเรียบ | 0.003 มม. |
| ความขนาน | 0.002 มม. |
| การตกแต่งพื้นผิว | รา0.1 |
| อุณหภูมิใช้งานสูงสุด | 800°C |
การใช้งาน:
- • การตัดและสลักแผ่นเวเฟอร์ (ขนาด 200 มม./300 มม. และใหญ่กว่า)
- • การเจียรด้านหลังของแผ่นเวเฟอร์บาง
- · การตรวจสอบและการวัดด้วยแสง
- · การจัดการวัสดุพิมพ์ขนาดใหญ่
ความแม่นยำในการผลิต:
- • ความตรง: 0.005 มม.
- • ความตั้งฉาก: 0.005 มม.
- • ความกลม: 0.002 มม.
- • ความเที่ยงตรงของศูนย์กลาง: 0.01 มม.








