แหวนซีลเซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูงสำหรับซีลห้องอุณหภูมิสูง
แหวนซีลเซรามิกของ St.Cera ออกแบบมาเพื่อใช้แทนโอริงโพลีเมอร์ในสภาพแวดล้อมที่รุนแรงซึ่งอีลาสโตเมอร์เสื่อมสภาพ ผลิตจากอลูมินาบริสุทธิ์สูง 99.8% (Al₂O₃) แหวนซีลแข็งนี้ใช้ในงานซีลแบบคงที่ — โดยทั่วไปจะใช้ร่วมกับปะเก็นโลหะหรือกราไฟต์ที่อ่อนนุ่ม — เพื่อให้การกักเก็บสุญญากาศหรือก๊าซที่เชื่อถือได้ที่อุณหภูมิสูงถึง 800°C และในสภาพแวดล้อมพลาสมาหรือสารเคมีที่รุนแรง วัสดุนี้ไม่ปล่อยก๊าซ มีความแข็งแรงในการรับแรงอัดสูง (ความแข็งแรงดัดงอพื้นฐาน 361 MPa) และเฉื่อยต่อสารเคมี (ทนต่อฮาโลเจน กรด และด่าง ยกเว้น HF) พื้นผิวซีลที่ขัดเงาอย่างแม่นยำ (ความเรียบ ≤5 μm ความหยาบของพื้นผิว Ra ≤0.2 μm) ช่วยให้มั่นใจได้ว่าการสัมผัสที่แน่นสนิทกับส่วนประกอบโลหะหรือเซรามิกที่ประกบกันนั้นป้องกันการรั่วซึม
ข้อกำหนด(อ้างอิงจากอะลูมิเนียม 99.8%)₂O₃):
| คุณสมบัติ | ค่า |
| วัสดุ | อลูมินา 99.8% (สีงาช้าง) |
| ความหนาแน่น | 3.93 กรัม/ซม³ |
| การดูดซับน้ำ | 0% |
| ความแข็งแรงดัดงอ | 361 เมกะปาสคาล |
| ความแข็งแรงรับแรงอัด (โดยประมาณ) | >2000 เมกะปาสคาล |
| ความแข็งวิคเกอร์ส | 16 จีพีเอ |
| การขยายตัวเนื่องจากความร้อน (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| อุณหภูมิใช้งานสูงสุด | 800°C (อากาศ), 1600°C (สารเฉื่อย) |
| ผิวสำเร็จ (ด้านปิดผนึก) | Ra ≤0.2 μm (ขัดเงา) |
| ความเรียบ (ต่อ 25 มม.) | ≤5 ไมโครเมตร |
| อัตราการรั่วไหลของฮีเลียม | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (เมื่อใช้ปะเก็นที่เหมาะสม) |
การใช้งาน:
- • ซีลกันรั่วแบบคงที่สำหรับห้องกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ (CVD, PVD, การกัดกรด)
- • ซีลประตูเตาเผาอุณหภูมิสูง
- • หน้าแปลนส่งผ่านสุญญากาศ
- • การปิดภาชนะปฏิกรณ์เคมี
กระบวนการผลิต:
การอัดขึ้นรูปด้วยแรงดันไอโซสแตติก → การเผาผนึกที่อุณหภูมิ 1600°C → การขัดเงาสองด้านอย่างแม่นยำเพื่อให้ได้พื้นผิวซีลที่เรียบลื่นเป็นพิเศษ → การลบคมขอบ → การทำความสะอาดด้วยคลื่นอัลตราโซนิค แหวนแต่ละวงได้รับการทดสอบการรั่วซึม 100% ด้วยเครื่องตรวจจับการรั่วซึมของฮีเลียมโดยใช้ปะเก็นโลหะมาตรฐาน
การควบคุมคุณภาพ:
- • ตรวจสอบขนาดด้วยเครื่อง CMM (เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน, เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก, ความหนา, ความขนาน)
- • เครื่องวัดความเรียบผิว (Surface profilometer) สำหรับค่า Ra และความโค้ง
- • การวัดความเรียบโดยใช้ระนาบแสง
- • การทดสอบการรั่วไหลของฮีเลียม (วิธีเพิ่มแรงดันย้อนกลับ)
ข้อดีเหนือกว่าโอริงโพลีเมอร์:
- · ทนทานต่ออุณหภูมิ 800°C เทียบกับ <300°C สำหรับ FFKM
- • ไม่มีการปล่อยก๊าซใดๆ ออกมา — จึงไม่ก่อให้เกิดการปนเปื้อนในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ
- • ทนทานต่อปฏิกิริยาเคมีของพลาสมาทุกชนิด (ฟลูออรีน คลอรีน ออกซิเจน)
- • ไม่มีการเสียรูปถาวรหรือการบิดเบี้ยวจากการบีบอัด
- · อายุการใช้งานไม่จำกัดในสภาพแวดล้อมที่สะอาด
ข้อจำกัด (ข้อสังเกตเชิงวิจารณ์):
- · ไม่ใช่โอริง— เป็นวงแหวนเซรามิกแข็งที่ต้องใช้ปะเก็นอ่อน (ทองแดง อลูมิเนียม หรือกราไฟต์) ในการปิดผนึก
- • ไม่รองรับการเคลื่อนไหวแบบไดนามิกหรือการเยื้องศูนย์ของหน้าแปลนขนาดใหญ่
- • ต้นทุนเริ่มต้นสูงกว่าโอริงโพลีเมอร์ แต่มีอายุการใช้งานยาวนานกว่า ช่วยลดต้นทุนในการเป็นเจ้าของ
- • เปราะบาง — ควรใช้งานด้วยความระมัดระวัง หลีกเลี่ยงการกระแทกหรือการดัดงอ
บันทึก:ข้อมูลข้างต้นเป็นไปตามตารางคุณสมบัติของ Al₂O₃ ที่ให้มาอย่างเคร่งครัด ไม่มีข้อมูลสำหรับวัสดุอีลาสโตเมอร์ ผลิตภัณฑ์นี้เป็นแหวนซีลแบบคงที่ ไม่ใช่โอริงแบบอีลาสโตเมอร์ โปรดตรวจสอบว่าผลิตภัณฑ์นี้ตรงตามข้อกำหนดการใช้งานของคุณหรือไม่
