แผ่นเซรามิกอลูมินาขนาดใหญ่สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์ติดตั้งในอุตสาหกรรม
บริษัท St.Cera ผลิตแผ่นเซรามิกขนาดใหญ่จากอลูมินาบริสุทธิ์สูง 99.8% (Al₂O₃) โดยมีขนาดความยาวสูงสุดถึง 1500 มม. และความกว้าง 600 มม. กระบวนการเจียรที่แม่นยำของเราทำให้ได้ความเรียบที่ 0.003 มม. ในระยะ 100 มม. และความขนานที่ 0.002 มม. จึงมั่นใจได้ถึงคุณภาพพื้นผิวที่สม่ำเสมอสำหรับการใช้งานในพื้นที่ขนาดใหญ่ ความหนาถึง 100 มม. ความเรียบผิวถึง Ra0.1 แผ่นเหล่านี้ใช้เป็นฐานจับยึดแบบสุญญากาศ แผ่นทำความร้อน แผ่นฉนวนไฟฟ้า และพื้นห้องกระบวนการในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ จอแสดงผล และเซลล์แสงอาทิตย์ มีบริการเจาะรูทะลุ เจาะรูคว้าน และขึ้นรูปขอบ
ข้อมูลจำเพาะ (อ้างอิงจากอลูมิเนียม 99.8%)₂O₃(และศักยภาพการผลิตของ St.Cera):
| คุณสมบัติ | ค่า |
| วัสดุ | อลูมินา 99.8% (สีงาช้าง) |
| ความหนาแน่น | 3.93 กรัม/ซม³ |
| ความแข็งแรงดัดงอ | 361 เมกะปาสคาล |
| ความแข็งวิคเกอร์ส | 16 จีพีเอ |
| ความแข็งแรงของไดอิเล็กทริก | 15×10⁶ V/m |
| ความยาวสูงสุด | 1500 มม. |
| ความกว้างสูงสุด | 600 มม. |
| ความหนาสูงสุด | 100 มม. |
| ความเรียบ (ต่อ 100 มม.) | 0.003 มม. |
| ความขนาน | 0.002 มม. |
| การตกแต่งพื้นผิว | Ra0.1 (ขัดเงา) |
| อุณหภูมิใช้งานสูงสุด | 1600°C |
การใช้งาน:
- • แผ่นฐานจับยึดแบบสุญญากาศสำหรับเวเฟอร์และแผงขนาดใหญ่
- • แผ่นทำความร้อนสำหรับอุปกรณ์แปรรูปด้วยความร้อน
- • แผงฉนวนไฟฟ้าในระบบไฟฟ้าแรงสูง
- • พื้นห้องกระบวนการและแผ่นรอง
ความแม่นยำในการผลิต:
ความตรง: 0.005 มม., ความตั้งฉาก: 0.005 มม., ตรวจสอบด้วยเครื่องวัดการแทรกสอดของแสงเลเซอร์
ข้อดีเหนือกว่าแผ่นโลหะ:
- • ปราศจากการปนเปื้อนของโลหะ – ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่งสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
- • ไม่มีการปล่อยก๊าซ – เหมาะอย่างยิ่งสำหรับสภาพแวดล้อมสุญญากาศ
- · ทนทานต่อการสึกหรอและสารเคมีได้ดีเยี่ยม
การปรับแต่ง:
สามารถสั่งทำรูปแบบรูเจาะ รูปทรงขอบ พื้นผิวแบบขั้นบันได และพื้นที่ติดตั้งแบบเคลือบโลหะได้ตามต้องการ
