-
อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์แบบสั่งทำพิเศษ ST.CERA หัวจับเซรามิก
กระบวนการที่สำคัญในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์จำเป็นต้องดำเนินการในห้องปลอดเชื้อ โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับอุปกรณ์ที่ต้องใช้งานภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ และก๊าซกัดกร่อน เซรามิกสามารถรักษาเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมทางกายภาพและเคมีที่ซับซ้อนได้
-
อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์แบบกำหนดเอง ST.CERA แผ่นเซรามิก
กระบวนการที่สำคัญในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์จำเป็นต้องดำเนินการในห้องปลอดเชื้อ โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับอุปกรณ์ที่ต้องใช้งานภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ และก๊าซกัดกร่อน เซรามิกสามารถรักษาเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมทางกายภาพและเคมีที่ซับซ้อนได้
-
วงแหวนโฟกัสเซรามิกเซมิคอนดักเตอร์แบบกำหนดเอง ST.CERA
กระบวนการที่สำคัญในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์จำเป็นต้องดำเนินการในห้องปลอดเชื้อ โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับอุปกรณ์ที่ต้องใช้งานภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ และก๊าซกัดกร่อน เซรามิกสามารถรักษาเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมทางกายภาพและเคมีที่ซับซ้อนได้
-
แขนโหลดเซรามิกอลูมินา 99.5% แบบสั่งทำพิเศษจาก ST.CERA
แขนจับ/หัวจับเซรามิกติดตั้งอยู่บนหุ่นยนต์สำหรับจัดการแผ่นเวเฟอร์ หรือ "หัวจับปลายแขน" และใช้ในการลำเลียงแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนเข้าหรือออกจากตลับหรือห้องกระบวนการ
ข้อดีของการใช้เซรามิก ได้แก่ การลดการโก่งงอเนื่องจากมีความแข็งแรงดัดสูง ทนต่ออุณหภูมิสูง และกำจัดสิ่งปนเปื้อนและอนุภาคโลหะ -
หัวจับชิ้นงานเซรามิกอลูมินาแบบกำหนดเองของ ST.CERA
ST.CERA นำเสนอวัสดุเคลือบ ESD และหัวจับอนุภาคเซรามิก ESD ที่ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิได้ 1600℃
-
วงแหวนโฟกัสเซรามิกเซมิคอนดักเตอร์แบบกำหนดเอง ST.CERA
ผลิตจากเซรามิกอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูง (มากกว่า 99.5%) ขึ้นรูปด้วยกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็นและเผาผนึกภายใต้อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงและขัดเงาอย่างแม่นยำ ชิ้นส่วนอะไหล่เซรามิกเหล่านี้สามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้ทุกประเภท ด้วยคุณสมบัติทนต่อการสึกหรอ ทนต่อการกัดกร่อน การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และเป็นฉนวน
ด้วยคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อการสึกหรอ และเป็นฉนวน เซรามิกจึงสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายประเภทภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
-
บูชเซรามิกอลูมินาความแม่นยำสูงสำหรับเซมิคอนดักเตอร์แบบสั่งทำพิเศษ ST.CERA
ผลิตจากเซรามิกอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูง (มากกว่า 99.5%) ขึ้นรูปด้วยกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็นและเผาผนึกภายใต้อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงและขัดเงาอย่างแม่นยำ ชิ้นส่วนอะไหล่เซรามิกเหล่านี้สามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้ทุกประเภท ด้วยคุณสมบัติทนต่อการสึกหรอ ทนต่อการกัดกร่อน การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และเป็นฉนวน
ด้วยคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อการสึกหรอ และเป็นฉนวน เซรามิกจึงสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายประเภทภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
-
หัวดูดสุญญากาศเซรามิกอลูมินาแบบกำหนดเองของ ST.CERA
นี่คือหัวจับชิ้นงาน/แขนจับชิ้นงานแบบถาดเซรามิก ที่ใช้ในสภาวะสุญญากาศ
ปลายแขนจับ/ด้ามจับเซรามิกนั้น "ทนความร้อนได้ดีกว่า" "เสียรูปทรงน้อยกว่า" และ "น้ำหนักเบากว่า" เมื่อเทียบกับแบบโลหะ
ด้วยคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อการสึกหรอ และเป็นฉนวน เซรามิกจึงสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายประเภทภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
-
ท่อเซรามิกและแท่งเซรามิกอลูมินา 99.5% แบบสั่งทำพิเศษจาก ST.CERA
ด้วยคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อการสึกหรอ และเป็นฉนวน เซรามิกจึงสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายประเภทภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
-
ST.CERA อุปกรณ์จับยึดเวเฟอร์แบบสั่งทำพิเศษจากอลูมินาเซรามิก
ST.CERA นำเสนออุปกรณ์เคลือบ ESD และวัสดุเซรามิก ESD สำหรับส่วนปลายแขน/แขนจับชิ้นงาน พร้อมช่องอากาศกลวงในตัว เราเชี่ยวชาญในเทคนิคการสร้างช่องอากาศสุญญากาศภายในวัสดุชิ้นเดียวโดยไม่ต้องใช้กาว
ไม่มีความเสี่ยงจากการปนเปื้อน การปล่อยก๊าซ หรืออนุภาคใดๆ แขนจับชิ้นงาน/หัวดูดสุญญากาศของ ST.CERA ที่ใช้เทคโนโลยีการเคลือบพิเศษนั้นเป็นฉนวนไฟฟ้า นอกจากนี้เรายังสามารถจัดหาวัสดุเซรามิก ESD ที่เป็นฉนวนไฟฟ้าโดยไม่ต้องเคลือบใดๆ ได้อีกด้วย
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃ -
ชิ้นส่วนอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์เซรามิกอะลูมินา
ป้องกันอนุภาคที่อาจเกิดขึ้นจากขอบเอียงหรือขอบที่ทำมุม และพื้นผิวด้านหลังขณะที่แผ่นเวเฟอร์ถูกลำเลียงหรือสัมผัสกับอุปกรณ์จับยึด/แขนจับชิ้นงาน
สำหรับตัวนำทางนั้น เลือกใช้วัสดุที่อ่อนนุ่มซึ่งไม่ทำให้เวเฟอร์เสียหาย
สามารถทำให้วัสดุบางลงได้ด้วยเทคโนโลยีช่องสุญญากาศในตัวของ ST.CERA ซึ่งไม่ใช้กาว
สามารถเจาะรูสำหรับติดตั้ง และปรับเปลี่ยนความยาวและความกว้างของฐานที่ใช้ติดตั้งปลายแขน/แขนจับชิ้นงานบนหุ่นยนต์ได้
เซ็นเซอร์สำหรับติดตั้ง สกรู และขายึด มีให้เลือกเป็นอุปกรณ์เสริม
ออกแบบมาเพื่อใช้งานในชั้นบรรยากาศ
-
การผลิตหัวจับเซรามิก St.Cera ด้วยเครื่อง CNC ตามสั่ง
ST.CERA นำเสนอหัวจับ/แขนจับชิ้นงานเซรามิกสุญญากาศที่มีช่องกลวงในตัว เราเชี่ยวชาญในเทคนิคการสร้างช่องอากาศสุญญากาศภายในวัสดุชิ้นเดียวโดยไม่ต้องใช้กาว
ไม่มีความเสี่ยงต่อการปนเปื้อน การปล่อยก๊าซ หรืออนุภาคใดๆ แขนจับชิ้นงาน/หัวดูดสุญญากาศของ ST.CERA ที่มีช่องในตัวมีความทนทานและสามารถใช้งานได้ที่อุณหภูมิสูง ยิ่งไปกว่านั้น ต้นทุนการผลิตของเราสามารถลดลงได้ด้วยการตัดขั้นตอนการประกอบที่ไม่จำเป็นออกไป
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
