แขนหุ่นยนต์เซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูงสำหรับการจัดการเวเฟอร์
แขนหุ่นยนต์เซรามิกอลูมินาของ St.Cera ผลิตขึ้นด้วยความแม่นยำสูงจาก Al₂O₃ (อลูมินา) บริสุทธิ์ 99.8% มีคุณสมบัติเด่นคือ ความแข็งแรงดัดงอสูง (361 MPa) ความแข็งสูง (16 GPa) และความหนาแน่นต่ำ (3.93 g/cm³) ทำให้ได้แขนหุ่นยนต์ที่มีน้ำหนักเบาแต่แข็งแรง เหมาะสำหรับการเคลื่อนย้ายแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของวัสดุ (7.2×10⁻⁶/°C) ใกล้เคียงกับซิลิคอน ช่วยลดความคลาดเคลื่อนทางความร้อนระหว่างกระบวนการผลิต
ข้อกำหนด (อ้างอิงจาก Al₂O₃ 99.8%)
| คุณสมบัติ | ค่า |
| สี | งาช้าง |
| ความหนาแน่น | 3.93 กรัม/ซม³ |
| ความแข็งแรงดัดงอ | 361 เมกะปาสคาล |
| ความแข็งวิคเกอร์ส | 16 จีพีเอ |
| โมดูลัสของยัง | 380 จีพีเอ |
| การนำความร้อน | 32 วัตต์/เมตร·เคลวิน |
| การขยายตัวทางความร้อน | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| ความแข็งแรงของไดอิเล็กทริก | 15×10⁶ V/m |
การใช้งาน:
- หุ่นยนต์ลำเลียงแผ่นเวเฟอร์แบบสุญญากาศ (200 มม./300 มม.)
- ระบบจัดการบรรยากาศ
- แขนจับชิ้นงานสำหรับระบบอัตโนมัติในโรงงาน
กระบวนการผลิต:
การอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติก → การขึ้นรูปด้วยเครื่องจักรดิบ → การเผาผนึกที่อุณหภูมิ 1600°C → การเจียรละเอียดด้วยเครื่อง CNC → การทำความสะอาดด้วยคลื่นอัลตราโซนิค → บรรจุภัณฑ์ในห้องปลอดเชื้อระดับ 100 แขนแต่ละชิ้นได้รับการตรวจสอบความเรียบ (±0.01 มม.) และความหยาบผิว (Ra ≤0.4 μm) ด้วยเครื่อง CMM 100%
การควบคุมคุณภาพ:
บริษัท St.Cera ได้รับการรับรองมาตรฐาน ISO 9001:2015 เราทำการทดสอบการแทรกซึมของสีเพื่อตรวจสอบรอยแตกขนาดเล็ก การทดสอบการดัดงอแบบสามจุดเพื่อหาความแข็งแรงดัดงอ และการทดสอบความแข็งแรงทางไฟฟ้าตามมาตรฐาน ASTM D149
ข้อดีเหนือกว่าแขนโลหะ:
- เบากว่าสแตนเลส 50%
- ไม่มีการกัดกร่อนแบบกัลวานิก
- ลดการเกิดอนุภาค (≤0.05 อนุภาค/ตร.ซม.)
- มีสารเคลือบป้องกันไฟฟ้าสถิต (ESD-safe) ให้เลือก (10⁶–10⁹ โอห์ม/ตารางเมตร)
การปรับแต่ง:
ความยาวตั้งแต่ 150 มม. ถึง 450 มม. รูปทรงปลาย (แบบจับขอบ, แบบเบอร์นูลลี, แบบสุญญากาศ) และรูปแบบหน้าแปลนยึดตามแบบของ OEM ผลิตต้นแบบได้ภายใน 2 สัปดาห์
สำหรับการสั่งซื้อจำนวนมาก โปรดขอใบเสนอราคา
