แขนเซรามิกสำหรับจัดการเวเฟอร์ เซรามิกความแม่นยำสูงสำหรับรูปทรงซับซ้อน

คำอธิบายโดยย่อ:

ป้องกันอนุภาคที่อาจเกิดขึ้นจากขอบเอียงหรือขอบที่ทำมุม และพื้นผิวด้านหลังขณะที่แผ่นเวเฟอร์ถูกลำเลียงหรือสัมผัสกับอุปกรณ์จับยึด/แขนจับชิ้นงาน

สำหรับตัวนำทางนั้น เลือกใช้วัสดุที่อ่อนนุ่มซึ่งไม่ทำให้เวเฟอร์เสียหาย

สามารถทำให้วัสดุบางลงได้ด้วยเทคโนโลยีช่องสุญญากาศในตัวของ ST.CERA ซึ่งไม่ใช้กาว

สามารถเจาะรูสำหรับติดตั้ง และปรับเปลี่ยนความยาวและความกว้างของฐานที่ใช้ติดตั้งปลายแขน/แขนจับชิ้นงานบนหุ่นยนต์ได้

เซ็นเซอร์สำหรับติดตั้ง สกรู และขายึด มีให้เลือกเป็นอุปกรณ์เสริม

ออกแบบมาเพื่อใช้ในชั้นบรรยากาศ