แกนเซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูงแบบสั่งทำพิเศษสำหรับผู้ผลิตและผู้จำหน่ายอุปกรณ์จับยึดสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

แกนเซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูงสำหรับอุปกรณ์จับยึดเซมิคอนดักเตอร์

คำอธิบายโดยย่อ:

แกนเซรามิกอลูมินาของ St.Cera ผลิตขึ้นด้วยความแม่นยำสูงจาก Al₂O₃ บริสุทธิ์ 99.8% ให้ความแข็งแรงทางไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยม (15×10⁶ V/m) เสถียรภาพทางความร้อนสูงถึง 1600°C และความต้านทานต่อการคืบตัวภายใต้ภาระ แกนเหล่านี้ใช้เป็นส่วนประกอบโครงสร้างในอุปกรณ์จับยึดกระบวนการอุณหภูมิสูง ฐานฮีตเตอร์ ซับในห้องพลาสมา และฉนวนไฟฟ้า ความแข็งสูง (16 GPa) และการดูดซับน้ำต่ำ (0%) ของวัสดุนี้ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความน่าเชื่อถือในระยะยาวในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง

ส่งอีเมลถึงเรา

รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

ข้อกำหนด(อ้างอิงจากอะลูมิเนียม 99.8%)₂O₃):

คุณสมบัติ	ค่า
วัสดุ	อลูมินา 99.8% (สีงาช้าง)
ความหนาแน่น	3.93 กรัม/ซม³
ความแข็งแรงดัดงอ	361 เมกะปาสคาล
ความทนทานต่อการแตกหัก	3–4 MPa·m¹/²
ความแข็งวิคเกอร์ส	16 จีพีเอ
โมดูลัสของยัง	380 จีพีเอ
การนำความร้อน	32 วัตต์/เมตร·เคลวิน
การขยายตัวเนื่องจากความร้อน (25-1000°C)	7.2×10⁻⁶/℃
ความแข็งแรงของไดอิเล็กทริก	15×10⁶ V/m
ความต้านทานจำเพาะ	>10¹⁴ โอห์ม·มม.²/ม.
อุณหภูมิใช้งานสูงสุด	1600°C

การใช้งาน:

• แกนทำความร้อนสำหรับเครื่องปฏิกรณ์เอพิแท็กเซียล
• แผ่นรองและแผ่นปิดห้องพลาสมา
• ฉนวนไฟฟ้าแรงสูง
• ฐานยึดสำหรับหุ่นยนต์จัดการแผ่นเวเฟอร์

การผลิต:

การอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติก → การขึ้นรูปชิ้นงานดิบ → การเผาผนึกที่อุณหภูมิ 1600°C → การเจียรด้วยเครื่อง CNC จนได้ขนาดสุดท้าย (ความคลาดเคลื่อน ±0.01 มม.) แต่ละแกนจะได้รับการตรวจสอบด้วยเครื่องวัดพิกัดสามมิติ (CMM) และการตรวจจับข้อบกพร่องด้วยคลื่นอัลตราโซนิค

การประกันคุณภาพ:

ได้รับการรับรองมาตรฐาน ISO 9001:2015 ผ่านการทดสอบการแทรกซึมของสีย้อมเพื่อตรวจสอบรอยแตกบนพื้นผิว และทดสอบความแข็งแรงทางไฟฟ้าตามมาตรฐาน ASTM D149

Aข้อดีเหนือกว่าเซรามิกชนิดอื่น: