ชิ้นส่วนเซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูงสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอุตสาหกรรมทั่วไป
บริษัท St.Cera ผลิตชิ้นส่วนเซรามิกอลูมินา (Al₂O₃) ที่ผ่านการกลึงอย่างแม่นยำตามข้อกำหนดของลูกค้า โดยใช้อลูมินาบริสุทธิ์สูงถึง 99.8% ชิ้นส่วนเหล่านี้จึงมีความแข็งแรงดัดงอได้ดีเยี่ยม (361 MPa) ความแข็งสูง (16 GPa) และความแข็งแรงทางไฟฟ้าที่โดดเด่น (15×10⁶ V/m) วัสดุนี้ได้รับการออกแบบมาสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ชิ้นส่วนประกอบที่ทนต่อการสึกหรอ ฉนวนไฟฟ้า และอุปกรณ์จับยึดที่อุณหภูมิสูง โดยมีคุณสมบัติการดูดซับน้ำเกือบเป็นศูนย์ (0%) และค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน 7.2×10⁻⁶/℃ ทำให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรของขนาดภายใต้สภาวะที่รุนแรง
ข้อกำหนด(อ้างอิงจากอะลูมิเนียม 99.8%)₂O₃):
คุณสมบัติ | ค่า |
| วัสดุ | อลูมินา 99.8% (สีงาช้าง) |
| ความหนาแน่น | 3.93 กรัม/ซม³ |
| ความแข็งแรงดัดงอ | 361 เมกะปาสคาล |
| ความทนทานต่อการแตกหัก | 3–4 MPa·m¹/² |
| ความแข็งวิคเกอร์ส | 16 จีพีเอ |
| โมดูลัสของยัง | 380 จีพีเอ |
| การนำความร้อน | 32 วัตต์/เมตร·เคลวิน |
| การขยายตัวเนื่องจากความร้อน (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| ค่าคงที่ไดอิเล็กทริก | 9.6 |
| มุมการสูญเสียไดอิเล็กทริก | 0.0001 |
| ความแข็งแรงของไดอิเล็กทริก | 15×10⁶ V/m |
| ความต้านทานจำเพาะ | >10¹⁴ โอห์ม·ซม. |
| อุณหภูมิใช้งานสูงสุด | 1600°C |
การใช้งาน:
- • แผ่นบุผนังห้องกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ช่องมอง และแผ่นกระจายก๊าซ
- • บูช ซีล และลูกปืนที่ทนทานต่อการสึกหรอ
- • ฉนวนไฟฟ้าแรงสูงและฉนวนหัวเทียน
- • อุปกรณ์ติดตั้งเตาเผา, ตัวรองรับฮีตเตอร์ และท่อป้องกันเทอร์โมคัปเปิล
กระบวนการผลิต:
การอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติก → การขึ้นรูปด้วยเครื่องจักรขณะยังไม่ผ่านการเผา → การเผาผนึกที่อุณหภูมิ 1600°C → การเจียร/ขัดเงาด้วยเครื่อง CNC → การทำความสะอาดด้วยคลื่นอัลตราโซนิค → การตรวจสอบขนาดด้วยเครื่อง CMM 100% สามารถผลิตชิ้นงานที่มีรูปทรงซับซ้อน ผนังบาง (≥0.5 มม.) และความคลาดเคลื่อนที่แคบ (ต่ำสุด ±0.01 มม.) ได้อย่างสม่ำเสมอ
การควบคุมคุณภาพ:
ได้รับการรับรองมาตรฐาน ISO 9001:2015 ผลิตภัณฑ์แต่ละล็อตผ่านการทดสอบความแข็งแรงดัดงอ (การดัดงอ 3 จุด), ความแข็ง (วิคเกอร์ส), ความแข็งแรงทางไฟฟ้า (ASTM D149) และความต้านทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน (10 รอบ, 25°C ↔ 1000°C) ไม่พบรอยแตกหรือรอยบิ่นที่มองเห็นได้ภายใต้กล้องจุลทรรศน์กำลังขยาย 20 เท่า
ข้อดีเหนือกว่าชิ้นส่วนโลหะหรือโพลีเมอร์:
- • แข็งกว่าสแตนเลส 3–5 เท่า (16 GPa เทียบกับ ~2 GPa)
- • มีคุณสมบัติเฉื่อยทางเคมี — ทนต่อกรด ด่าง และฮาโลเจน (ยกเว้น HF)
- • ฉนวนไฟฟ้าที่มีค่าความต้านทาน >10¹⁴ โอห์ม·เซนติเมตร ทำให้สามารถใช้งานในสภาพแวดล้อมที่มีแรงดันไฟฟ้าสูงได้
- • ใช้งานต่อเนื่องได้ที่อุณหภูมิสูงสุด 1600°C ซึ่งสูงกว่าขีดจำกัดของโลหะหรือพลาสติกมาก
การปรับแต่ง:
เรารับแบบร่างจากลูกค้า (รูปแบบ STEP/IGS) และให้บริการสร้างต้นแบบอย่างรวดเร็ว (2-3 สัปดาห์) ชิ้นส่วนสามารถจัดส่งได้ในรูปแบบเผาผนึก เจียร ขัด หรือขัดเงา (Ra ≤0.05 μm) การลบคมขอบ การเจาะรู การเจาะรูเกลียว และการทำร่องสุญญากาศก็มีให้บริการเช่นกัน
หมายเหตุ: สำหรับงานที่ต้องการความทนทานต่อการแตกหักสูงกว่า โปรดพิจารณาชิ้นส่วนเซอร์โคเนีย (ZrO₂) สำหรับค่าการนำความร้อนสูงสุด โปรดดูผลิตภัณฑ์ BeO หรือ Si₃N₄ ของเรา ข้อมูลทั้งหมดข้างต้นเป็นไปตามตารางคุณสมบัติของ Al₂O₃ ที่ให้มา (เกรด 99.8%) อย่างเคร่งครัด
