หัวจับสุญญากาศมาตรฐานที่ทำจากอลูมินา – ความแข็งแกร่งสูงเพื่อการตัดเฉือนที่แม่นยำ
หัวจับสุญญากาศที่ทำจากอลูมินาชนิดนี้ผลิตจาก Al₂O₃ บริสุทธิ์ 99.8% มีพื้นผิวเรียบไม่มีรูพรุน พร้อมร่องสุญญากาศที่ออกแบบได้ตามต้องการ มีความแข็งแกร่งเป็นพิเศษ (โมดูลัสของยัง 380 GPa) และความเรียบ (≤3 μm) ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการเจียร การขัด และการตัดแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์และชิ้นส่วนทางแสงที่มีความแม่นยำสูง นอกจากนี้ วัสดุยังมีค่าการนำความร้อนสูง (32 W/m·k) ช่วยให้ความร้อนสม่ำเสมอในระหว่างกระบวนการผลิต
ข้อกำหนด(อ้างอิงจากอะลูมิเนียม 99.8%)₂O₃):
| คุณสมบัติ | ค่า |
| วัสดุ | อลูมินา 99.8% (สีงาช้าง) |
| ความหนาแน่น | 3.93 กรัม/ซม³ |
| ความแข็งแรงดัดงอ | 361 เมกะปาสคาล |
| ความแข็งวิคเกอร์ส | 16 จีพีเอ |
| โมดูลัสของยัง | 380 จีพีเอ |
| การนำความร้อน | 32 วัตต์/เมตร·เคลวิน |
| ความเรียบ | ≤3 ไมโครเมตร (มากกว่า 200 มิลลิเมตร) |
| ความหยาบของพื้นผิว (ด้านหัวจับ) | Ra ≤0.4 μm |
| อุณหภูมิใช้งานสูงสุด | 800°C |
การใช้งาน:
- • การเจียรด้านหลังเวเฟอร์ (แบบหยาบและแบบละเอียด)
- • การหั่นวัสดุเปราะบางให้เป็นชิ้นเล็กๆ ด้วยความแม่นยำสูง
- • การขัดผิววัสดุเซรามิก
- · การขัดเลนส์ออปติคอล
การผลิต:
การขัดผิวละเอียดทั้งสองด้าน → การเซาะร่องด้วยเพชร (ไม่จำเป็น) → การลบคมขอบ → การทำความสะอาดด้วยคลื่นอัลตราโซนิค → การตรวจสอบความเรียบ 100% ด้วยเครื่องวัดความเรียบเลเซอร์
Aข้อดี:
- • โครงสร้างที่แข็งแรงช่วยลดการโก่งตัวภายใต้น้ำหนัก
- • ไม่มีการสร้างอนุภาคจากโครงสร้างที่มีรูพรุน
- • ทำความสะอาดง่าย (สามารถเช็ดทำความสะอาดด้วยตัวทำละลายได้)
- • สามารถปรับแต่งร่องสุญญากาศได้ (แบบวงกลม แบบรัศมี หรือแบบลวดลายตามสั่ง)
ขนาดที่มีจำหน่าย:
ทรงกลม: 100 มม., 150 มม., 200 มม., 300 มม.; ทรงสี่เหลี่ยมจัตุรัส/สี่เหลี่ยมผืนผ้า สามารถสั่งทำได้ตามต้องการ
นอกจากนี้เรายังมีรุ่นที่ทำจากโลหะเพื่อความแข็งแรงเชิงกลที่สูงขึ้นอีกด้วย











