หัวจับสุญญากาศเซรามิกพรุนสำหรับจัดการเวเฟอร์ที่บิดเบี้ยว
หัวจับเซรามิกพรุนของ St.Cera ผลิตจากอลูมินาบริสุทธิ์สูง มีรูพรุนเปิดสม่ำเสมอ 30–45% และขนาดรูพรุนตั้งแต่ 10 ถึง 100 ไมโครเมตร แตกต่างจากหัวจับแบบร่องทั่วไป พื้นผิวพรุนช่วยกระจายสุญญากาศไปทั่วด้านหลังของแผ่นเวเฟอร์ ทำให้สามารถยึดแผ่นเวเฟอร์ที่บิดเบี้ยว บาง หรือเป็นชิ้นเดียวได้อย่างมีประสิทธิภาพโดยไม่ทำให้ขอบหลุดหรือแตกหัก สุญญากาศระดับอ่อน (ปรับได้โดยใช้ตัวจำกัด) ยังช่วยป้องกันรอยขีดข่วนที่ด้านหลังของแผ่นเวเฟอร์อีกด้วย
ข้อกำหนด(อ้างอิงจากอะลูมิเนียม 99.6%)₂O₃):
| คุณสมบัติ | ค่า |
| ความพรุน | 30–45% |
| ขนาดรูพรุนเฉลี่ย | 10–100 ไมโครเมตร (เลือกได้) |
| ความแข็งแรงดัดงอ | ≥250 MPa |
| ความเรียบ (มากกว่า 300 มม.) | ≤5 ไมโครเมตร |
| การตกแต่งพื้นผิว | ขัดเงา (Ra 0.8 μm) |
| ระดับสุญญากาศสูงสุด | -80 กิโลปาสคาล |
| อุณหภูมิในการทำงาน | 400°C (อากาศ), 600°C (สารเฉื่อย) |
| วัสดุ | Al₂O₃, ZrO₂ หรือ SiC 99.6% |
การใช้งาน:
การเจียรด้านหลังของเวเฟอร์บาง (≤50 μm)
การติดตั้งเวเฟอร์ที่บิดเบี้ยวสำหรับการหั่น
การหยิบแม่พิมพ์เดี่ยวจากเทป
การจัดการแผงกระจก
การผลิตและคุณภาพ:
ผงเซรามิกผสมกับสารก่อรูพรุนอินทรีย์ → อัดขึ้นรูป → เผาผนึก → ขัดให้ได้ความหนาตามต้องการ แต่ละชิ้นงานจะถูกทดสอบการไหลเพื่อความสม่ำเสมอของสุญญากาศ (ความคลาดเคลื่อน ≤5%) และตรวจสอบการกระจายขนาดรูพรุน (SEM) วัดความเรียบด้วยเครื่องวัดการรบกวนด้วยเลเซอร์
ข้อดีเหนือกว่าหัวจับแบบร่อง:
ไม่มีรอยขอบเวเฟอร์หรือการเลื่อนของได
สามารถยึดแผ่นเวเฟอร์ที่บิดเบี้ยวได้ (โค้งงอได้ถึง 500 ไมโครเมตร)
ช่วยขจัดปัญหาการอุดตันของรูดูดฝุ่น
อุปกรณ์ปรับระดับอัตโนมัติสำหรับพื้นผิวบาง
การปรับแต่ง:
รูปทรงกลมหรือสี่เหลี่ยมผืนผ้า ขนาดสูงสุด 600 มม. เราสามารถติดตั้งวงแหวนปิดผนึกขอบหรือพาร์ติชั่นสุญญากาศเฉพาะจุดได้ มีรุ่นเสริมแผ่นโลหะสำหรับงานที่ต้องการความแข็งแรงสูง
ขอตัวอย่างเพื่อทดสอบขนาดแผ่นเวเฟอร์และการบิดเบี้ยว
